Berlaku pikeun pass Strikat Strikét tertawan umum rata-rata 06E9060505k

1. Métode pikeun ngabentuk sensor tekanan, diwangun:

Nyayogikeun substrat semeronductor, dimana lapisan ageung Loverrists Cormayer, lapisan bohong Interlayter Coclayter Panas kabentuk dina substrat semuci.

Lempatan éléktroda anu langkung handap dina lapisan litrectric ieu matanggan éléktroda anu saé perenahna dina lapisan anu sami sareng piring frékrodode handap sareng saluyu anu aya.

Sambung lapisan;

Ngabentuk lapisan korban di luhur piring polar anu handap;

Ngabentuk piring éléktroda panganyarna dina lapisan limlomectric Interlayer, lapisan interelnisher munggaran sareng lapisan perbuatan

Saatos ngabentuk lapisan kurban sareng sateuacan ngabentuk piring luhur, dina lapisan intercontriber munggaran

Ngabentukna alur sambungan, sareng ngeusian alur sambungan sareng piring luhur kanggo éléktricasi sareng lapisan adbonif. Atawa,

Saatos ngabentuk piring urrogrési luhur, nyambungan alur dibentuk dina piring éléktroda anu luhur sareng lapisan matandingan anu munggaran, anu

Ngabentuk lapisan pasippektif ngahubungkeun piring éléktroda) sareng lapisan covonnection munggaran dina seru sambungan;

Saatos éléktrolik ngahubungkeun piring luhur sareng lapisan érisi munggaran, ngaleungitkeun lapisan korban pikeun ngabentuk rohangan.

2. Metode pikeun ngabentuk sensor tekanan numutkeun klaim 1, dimana dina lapisan munggaran

Métode pikeun ngabentuk lapisan korban dina lapisan dielekrik interlayer anu ngagaduhan léngkah-léngkah ieu:

Deposit lapisan bahan berbasis dina lapisan lillayric munggaran;

Patterning lapisan bahan kontradiksi pikeun ngabentuk lapisan kurban.

3. Metodeu pikeun ngarebut sénor tekanan numutkeun najis 2, dimana fotolomitografi sareng ngarobih dianggo.

Lapisan bahan kontrol disada ku prosés etching.

4. Métode pikeun ngabentuk sensor tekanan numutkeun klaim 3, dimana lapisan kurban

Bahanna nyaéta karbon Amorphous atanapi germanum.

5. Métode pikeun ngabentuk sensor tekanan numutkeun klaim 4, dimana lapisan kurban

Bahanna nyaéta karbon amorf;

G beusi anu dianggo dina prosés anu ngoyok lapisan bahan bahan bakar kalebet O2, Co, N2 sareng AD;

Parameter dina prosés anu jangking kebapian deui berkorik nyaéta: kisaran O2 nyaéta 18 SCcm ~ 22 SCBM, sareng laju aliran Co 10%.

Wingkat aliran kikat tina 90 sccm dugi ka 110 sccm, laju aliran n2 kumbang ti 90 sccm ka 110 sccm, sareng laju aliran saling-11 arus.

Kisaran nyaéta 90 SCCM ~ 110 SCCM, kisaran tekanan nyaéta 90 MTOR ~ 110 MTOR, sareng kakawasaan biasa nyaeta

540w ~ 660W.