Sensor tekanan semikonductrar Kinerja tekanan anu pugén ieu pisan teu stabil sareng teu acan dikembangkeun. Nu sanésna nyaéta Sensor dumasar kana pangaruh susu., Anu sanés alami utama sensor tekanan semawa. Dina dinten awal, semikonductror Dina taun taun taun, sareng membangan téknologi ambar ambar, sensor tekanan semiathtor sareng ngungkabkeun salaku unsur pencetahan kuizoresive katingali. Sensor tekanan jinis ngagaduhan struktur anu sederhana sareng henteu dipercaya, henteu aya bagian pindahana, sareng tekanan elder sfefedication sareng ningkatkeun kinerja sensor sensor sensor sensor sensor sensor sensor sensor sensor sensor sensor sensor sensor sensor sensor sensor anu gincabkeun, anu nyegah ngariapan sentifis sareng ningkatkeun kinerja mékanis sareng ningkatkeun kineringan sensor sensor sensor sensor sareng ningkatkeun kinerja mecretis.

Pangaruh piizorouchoristive semiconductor gaduh ciri hubungan anu aya hubunganana sareng gaya éksternal, nyaéta, réskisiasi (diwakilan ku simbulkeunna, anu disebut cacing ρzoristis. Ganti relatif résotitas handapeun tindakan struktur unit disebut Koefisien Pizoresiat, anu dikedalkeun ku simbol π. Dikedalkeun matematis salaku ρ / ρ = Π σ.

Ti mana σ ngagambarkeun setrés. Ngarobih nilai résistansi (R / R) disababkeun ku résistansi semikonductrum di handapeun setrésumumsi husus ditangtukeun ku parobahan restoritas, janten ungikan pangaruh pangaruh, janten ungikan pangaruh salaku r / R = gπ Pizoresesistist Maksin salaku Rσ.

Dina kaayaan gaya éksternal, setrés tangtu (σ) sareng galur (ε) dibangkit dina kristal semulonductor, sareng hubungan.

Upami épék piizoresistisasi dipedalkeun ku galur semayonductor, éta r / r = g

G nyaéta disebut faktor sensitip pan tekanan, anu ngagambarkeun perobihan relatif nuko kerjaban hubungan dina unit galur.

Pieboresistis atanapi Faktor sensitipitas mangrupikeun parameter fisik fisik pangaruh sememesistri. Hubungan antara éta, sapertos anu siga hubungan antara setrés sareng saring, ditangtukeun ku modulus ngora, nyaéta, g = π y.

Kusabab anisotropri tina kryal krisik bumi dina élastisitas, platulus sareng koefulure ngora parobahan pidionforatif nganggo orientasi kristal. Gedena épék pemenonomi Luhureun raya, faktor alit anu langkung alit. Pangaruh Piezoresisted ngeunaan résistanén ditangtukeun ku orientasi kristal sareng konsentrasi anu langkung sedengangan balikan sumber. Konsentrasi anu najis utamina ngarujuk kana konsentrasi pangropéa permukaan lapisan anu béda.