Struktur sensor pizoresistive

Di sensor ieu, jalur tahan réscér dihijikeun dina sulik silikon silikon silikal silikonmmine ku cara integrasi janten chip fipturesasi éta pareum, sareng éléktrumes ledakan. Sensor tekanan pikas makoris, ogé disebat pensiu-tekanan nagara-nagara-nagara, hartosna tina ngan tina goling galur no-aleta, mana anu kedah ngubaran kakuatan ékstulung ngalangkungan kakuatan Silicast.

Hiji sisi Silicon Silicon mangrupikeun rohangan tinggi-tinggi anu komunikasi sareng tekanan anu diukur, sareng sisi séjén mangrupikeun rohangan tekanan rendah anu komunikasi sareng suasana éta. Sacara umum, diendfragma Sulicon dirancang janten bunderan anu nganggo periphery tetep, sareng numbu dugi ka kebon kertas anu henteu berkesti sareng hormetris.

Salaku tambahan, ogé aya di sokfragma pasagi sareng silikon kolom kolom kolom. Sensor Casticon Crlindritik ogé kalayan tahan tina témpél ku albeat peralatan kimia silik, sareng dua lampu pencetahan stres bertruktur.

Sensor piizorodive mangrupikeun alat anu dilakukeun ku résistansi struktur dina substrat bahan bakakan numutkeun bahan bahan baki. Urstrat na tiasa langsung dianggo salaku sensor ukuran, sareng résistansi disambungkeun dina substrat dina bentuk jaket.

Nalika substrat cacad ku kakuatan luar, nilai pesaa bakal robih sareng jambang bakal ngahasilkeun hasil anu teu dipercaya. Substrat (atanapi diafragms) dianggo salaku sensor paizoresistis utamana parah silikon sareng wafers. Silicon piezoresistive sensors made of silicon wafers as sensitive materials have attracted more and more attention, especially the solid-state piezoresistive sensors for measuring pressure and speed are the most widely used.