Sensor tekanan semikonduktor anu biasa dianggo nganggo wafer silikon tipe N salaku substrat. Anu mimiti, wafer silikon didamel janten bagian anu tahan setrés elastis kalayan géométri anu tangtu. Dina bagian-stress-bearing tina wafer silikon, opat P-tipe résistor difusi dijieun sapanjang arah kristal béda, lajeng opat-leungeun sasak Wheatstone kabentuk jeung opat résistor ieu. Dina aksi gaya éksternal, parobahan nilai lalawanan jadi sinyal listrik. Ieu sasak wheatstone kalawan pangaruh tekanan nyaéta jantung sensor tekanan, nu biasana disebut sasak piezoresistive (sakumaha ditémbongkeun dina Gambar 1). Karakteristik sasak piezoresistive nyaéta kieu: ① nilai lalawanan tina opat leungeun sasak sarua (sadayana r0); ② Pangaruh piezoresistive tina leungeun padeukeut sasak sarua dina nilai jeung sabalikna dina tanda; ③ Koéfisién suhu lalawanan tina opat panangan sasak sarua, sarta aranjeunna salawasna dina suhu anu sarua. Dina Gbr. 1, R0 nyaéta nilai lalawanan tanpa stress dina suhu kamar; RT nyaéta parobahan disababkeun ku koefisien suhu lalawanan (α) nalika suhu robah; Υ Rδ nyaéta parobahan résistansi disababkeun ku galur (ε); Tegangan kaluaran sasak nyaéta u=I0 Δ Rδ=I0RGδ (sasak sumber arus konstan).

Dimana I0 nyaéta arus sumber arus konstan sareng e nyaéta tegangan sumber tegangan konstan. Tegangan kaluaran tina sasak piezoresistive nyaeta langsung sabanding jeung galur (ε) sarta boga nganggur teu jeung RT disababkeun ku koefisien hawa lalawanan, nu greatly ngurangan drift suhu sensor. Sensor tekanan semikonduktor anu paling seueur dianggo nyaéta sénsor pikeun ngadeteksi tekanan cairan. Struktur utamina nyaéta kapsul anu dijieun tina silikon monocrystalline (sakumaha ditémbongkeun dina Gambar 2). Diafragma dijieun kana cangkir, sarta handap cup mangrupa bagian nu ngasuh gaya éksternal, sarta sasak tekanan dijieun dina handap cup. Alas ring didamel tina bahan kristal tunggal silikon anu sami, teras diafragma kabeungkeut kana titincakan. jenis ieu sensor tekanan boga kaunggulan sensitipitas tinggi, volume leutik tur solidity, sarta geus loba dipaké dina aviation, navigasi spasi, instrumen automation sarta instrumen médis.