Sensor tekanan mangrupikeun salah sahiji sensor anu paling umum. Sensor tekanan tradisional utamina mangrupikeun alat struktur mékanis, sareng deformasi bagian elastis nunjukkeun tekanan. Nanging, kusabab ukuran sareng beuratna, aranjeunna henteu tiasa ngahasilkeun listrik.

Kamekaran téknologi semikonduktor ogé nyababkeun mecenghulna sénsor tekanan semikonduktor. Hal ieu dicirikeun ku ukuran leutik, beurat hampang, precision tinggi jeung kinerja suhu alus. Utamana sareng pamekaran téknologi MEMS, sénsor semikonduktor ngembang dina arah miniaturisasi, konsumsi kakuatan rendah sareng réliabilitas anu luhur.

Peran sensor tekanan

1. Langsung dipaké pikeun ngukur tekanan béda: tekanan hawa, tekanan hidrolik, tekanan hidrolik (kaasup tekanan hidrolik), tekanan getih béda dina kahirupan sapopoe, jsb;

2. sensor tekanan dipaké dina mobil, sababaraha motor elit sarta ampir kabéh mesin durukan internal;

3. Tingkat cair: The parabot widang dipaké pikeun sagala rupa pangukuran tingkat cair utamana sensor tekanan;

4. Seuseueurna sinyal timbangan éléktronik sareng sinyal timbangan kendaraan asalna tina sensor tekanan.

Sénsor tekanan utamana dipaké pikeun ngadalikeun jeung ngawas aplikasi nu tangtu. Dina industri otomotif, sensor tekanan MEMS utamana dipaké pikeun ngukur tekanan suluh, tekanan ban, tekanan airbag, sarta tekanan pipa. Dina widang biomedis, sensor tekanan MEMS utamana dipaké dina sistem diagnostik jeung deteksi; Dina industri aerospace, sensor tekanan MEMS utamana dipaké pikeun ngadalikeun pesawat ruang angkasa sarta posisi pesawat ruang angkasa;