Cocog jeung sensor tekanan minyak Hitachi KM11 EX200-2-3-5

Opat téknologi tekanan sensor tekanan

1. Kapasitif

sensor tekanan kapasitif biasana favored ku angka nu gede ngarupakeun aplikasi profésional OEM. Ngadeteksi parobihan kapasitansi antara dua permukaan ngamungkinkeun sénsor ieu ngaraos tekanan sareng tingkat vakum anu rendah pisan. Dina konfigurasi sensor has urang, perumahan kompak diwangun ku dua surfaces logam papisah raket, paralel jeung listrik terasing, salah sahiji nu dasarna mangrupa diafragma nu bisa ngabengkokkeun rada dina tekenan. Ieu surfaces pageuh dibereskeun (atawa pelat) anu dipasang ku kituna bending of assembly robah celah antara aranjeunna (sabenerna ngabentuk kapasitor variabel). Parobahan hasilna dideteksi ku sirkuit komparator linier sénsitip kalawan (atawa ASIC), nu amplifies na outputs sinyal tingkat luhur proporsional.

2. Jenis CVD

déposisi uap kimiawi (atawa "CVD") metoda manufaktur beungkeut lapisan polysilicon kana diafragma stainless steel dina tingkat molekular, sahingga ngahasilkeun sensor kalawan kinerja drift jangka panjang alus teuing. Métode manufaktur semikonduktor processing bets umum anu dipaké pikeun nyieun polysilicon galur gauge sasak kalawan kinerja alus teuing dina harga pisan lumrah. Struktur CVD boga kinerja ongkos alus teuing jeung sensor pang populerna di aplikasi OEM.

3. Sputtering tipe pilem

Sputtering déposisi pilem (atawa "pilem") bisa nyieun sénsor kalawan linearity gabungan maksimum, hysteresis na repeatability. Akurasi tiasa saluhur 0.08% tina skala pinuh, sedengkeun drift jangka panjang sahandapeun 0.06% tina skala pinuh unggal taun. Kinerja luar biasa tina instrumen konci-sensor pilem ipis sputtered kami mangrupikeun harta dina industri sensing tekanan.

4. tipe MMS

Sénsor ieu ngagunakeun diafragma micro-machined silicon (MMS) pikeun ngadeteksi parobahan tekanan. Diafragma silikon diisolasi tina médium ku 316SS anu dieusi minyak, sareng aranjeunna ngaréspon sacara séri kalayan tekanan cairan prosés. sensor MMS adopts téhnologi manufaktur semikonduktor umum, nu bisa ngahontal résistansi tegangan tinggi, linearity alus, kinerja shock termal alus teuing jeung stabilitas dina pakét sensor kompak.